RUS
ГлавнаяКаталогВакуумное оборудованиеВакуумные затворы

Вакуумные затворы

Вот уже более 40 лет компания HVA (США) производит вакуумные затворы высочайшего качества (до 2004 года компания называлась High Vacuum Apparatus). Отработанные технологии и современное производственное оборудование обеспечивают высокий уровень качества, а многолетний опыт собственных разработок в проектировании вакуумных затворов позволяет добиваться уникальных технических и эксплуатационных характеристик продукции HVA, недостижимых для конкурентов. 

Надежные вакуумные затворы HVA

Вакуумные затворы HVA успешно используются в полупроводниковой промышленности, установках для изготовления плоских дисплеев, системах выращивания кристаллов, нанесения покрытий, вакуумной металлургии и других областях, требовательных к качеству и характеристикам используемого оборудования.

Одной из ключевых характеристик продукции HVA является умеренная цена:
Затвор вакуумный электропневматический HVA 11211-0603R из нержавеющей стали с фланцами ISO160 8 отв. болт. М10, соленоидом 24 В пост. тока и индикатором положения стоит 271900,00 руб. со склада в Москве 

Общие особенности всех вакуумных затворов HVA:

  • Вакуумные затворы остаются герметично закрытыми даже в случае проблем со сжатым воздухом или электропитанием - специальный замок надежно фиксирует положение затвора
  • Наименьшая площадь внутренних частей и механизмов среди вакуумных затворов всех производителей
  • Линейный привод внутри вакуумного затвора герметично изолирован сильфоном. Вибрация и удар в момент закрытия вакуумного затвора значительно меньше по сравнению с вакуумными затворами других производителей
  • Все внутренние механизмы легко извлекаются из корпуса вакуумных затворов без необходимости демонтировать затвор из вакуумного тракта, что обеспечивает легкость их сервисного обслуживания
  • Большой выбор типов приводов для всех типов затворов – ручной, электропневматический или электромеханический
Стандартные вакуумные затворы HVA серий 11000 и 21200

Стандартные вакуумные затворы серий 11000 и 21200

  • Любые типы фланцев или их комбинации с Ду от 16 до 1250 мм
  • Все металлические элементы затвора выполнены из нержавеющей стали
  • Высокая надежность – ресурс работы 100000 циклов открытия/закрытия (серия 11000) или 1млн. циклов открытия/закрытия (серия 21200)
  • Уровень вакуума – до 10-10 мбар
  • Низкий уровень натекания – 2*10-10 мбар*л/с
  • Температура прогрева корпуса затвора без соленоида – до +250 °С
  • Допустимый перепад давления при открытии – 30 мбар
  • Допустимый перепад давления в закрытом состоянии – 1 бар в любом направлении

Вакуумные затворы из алюминия серии 81000

  • Стандартная надежная конструкция обеспечивает отличные характеристики и невысокую стоимость
  • Части затвора вытачиваются из цельных алюминиевых блоков, что позволяет существенно снизить вероятность появления микротечей
  • Высокая надежность – ресурс работы до 400000 циклов открытия/закрытия
  • Уровень вакуума – до 10-7 мбар
  • Низкий уровень натекания – 2*10-9 мбар*л/с
  • Температура прогрева корпуса затвора без соленоида – до +120 °С
  • Допустимый перепад давления при открытии – 30 мбар
  • Допустимый перепад давления в закрытом состоянии – 1,6 бар в любом направлении
Вакуумные затворы из алюминия серии 81000

Вакуумные затворы серии 71000 для агрессивных приложений

Вакуумные затворы серии 71000 для агрессивных приложений

  • Уникальная конструкция обеспечивает высочайшую надежность в самых тяжелых условиях эксплуатации – при откачке агрессивных газов, содержащих твердые абразивные частицы, осаждающиеся и конденсирующиеся вещества, высоких перепадах давления и т. п.
  • Увеличенная безопасность – надежная конструкция двойного защитного экрана
  • Необслуживаемые сильфоны – сильфон изолирован от среды техпроцесса
  • Уменьшенное время простоя – лёгкость чистки и замены уплотнителей
  • Допустимый перепад давления при открытии – 1 бар
  • Допустимый перепад давления в закрытом состоянии – 7 бар в любом направлении
  • Уровень вакуума – до 10-9 мбар
  • Низкий уровень натекания – менее 1*10-9 мбар*л/с
  • Температура прогрева корпуса затвора без соленоида – до +150 °С
  • Высокая надежность – ресурс работы более 250000 циклов открытия/закрытия